유량계 ｜ 엠케이프리시젼 MKPRECISION
엠케이프리시젼 MKPRECISION
방폭형 질량유량제어기, 질량유량제어기, 질량유량계측기, 압력컨트롤러, 리드아웃박스
Exproof Digital Mass Flow Controller, Digital Mass Flow Controller, Digital Mass Flow Meter, Digital Electronic Pressure Controller, Readout Box
대한민국 MFC 산업의 선도 기업, 세계로 나아가는 기술력
엠케이프리시젼㈜은 2004년 설립 이후, 대한민국을 대표하는 질량 유량 컨트롤러(MFC, Mass Flow Controller) 전문 기업으로 자리매김해왔습니다. 반도체 장비를 비롯한 정밀 산업용 장비의 핵심 부품인 MFC를 국내 독자 기술력으로 개발·제조·공급함으로써, 국가 산업의 고도화와 함께 지속적인 성장을 이루고 있습니다.
국내 최초 MFC 국산화 성공이라는 의미 있는 성과를 시작으로, 수많은 기술적 난제와 시행착오를 극복하며 쌓아온 경험과 노하우는오늘날 고성능·고신뢰성 MFC 공급 기반의 원동력이 되었습니다.
엠케이프리시젼은 현 상황에 안주하지 않고 글로벌 기술 선도 기업으로 도약하기 위해 수출 확대 및 해외 시장 진출에도 적극 나서고 있으며,세계 최고의 반도체 및 산업장비 제조사들과의 파트너십을 통해 기술 경쟁력과 품질 신뢰성을 꾸준히 입증하고 있습니다.
앞으로도 엠케이프리시젼㈜은 대한민국을 넘어 세계 시장에서 인정받는 MFC 전문 기업으로 성장하기 위해임직원 모두가 끊임없는 기술 혁신과 고객 중심 경영에 최선을 다할 것을 약속드립니다.
기체의 유량을 계산하여 제어하는 장비인 MFC와
기체의 유량을 계측하여 값을 측정하는 장비인 MFM은
"가스를 사용하는 모든 사업분야에서 사용되고 있습니다"
질량유량제어기 (Mass Flow Controller)
가스를 정밀하게 써야 하는 공정에서 기체의 유량을 계산하여 제어합니다. 가스의 정확한 유량 제어 및 자동화 생산 라인 구축에 필수적인 장비입니다.
질량유량계측기(Mass Flow Meter)
기체의 유량을 계측하여 값을 측정할 수 있는 장비입니다.
질량유량제어기와 함께 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
질량유량제어기와 함께 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
질량유량제어기 MFC MASS FLOW CONTROLLER
방폭형질량유량제어기
MFC
EXO-100/U100 Series
Class: Ex tD A21(분진) /
Ex nA IIC T4(비점화)
유량범위: 5sccm~3,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2.5%
질량유량제어기
MFC
VIC-D100/D200 Series
유량범위: 5sccm~2,500slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2%
질량유량제어기
MFC
CAF-100 Series
유량범위: 100slm~3,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2~2.5%
질량유량제어기
MFC
VIC-S220
유량범위: 5sccm~50slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%
질량유량계측기 MFM MASS FLOW METER
질량유량계측기
MFM
TSM-D200 Series
유량범위: 5sccm~5,000slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±2%
질량유량계측기
MFM
TSM-L100 Series
유량범위: 5sccm~400slm
제어범위: 풀스케일 기준 2~100%
정확도: 풀스케일 기준 ≤±5%
압력제어기 EPC ELECTRONIC PRESSURE CONTROLLER
압력제어기
EPC
EPC-200 Series
유량범위: 100~2,000slm
제어범위: 압력 제어 범위: 100mbar(g)~20 bar(g)
정확도: 풀스케일의 ≤±1%
리드아웃박스 READOUT BOX
리드아웃박스
MPR-Z300
사용방식이 편리한 리드아웃박스
제어범위: 2채널, 4채널 선택 가능
통신: RS485 통신옵션 선택 가능