Digital Mass Flow Controller<br /><br />유량범위: 5sccm~400slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%
Digital Mass Flow Controller<br /><br />유량범위: 500sccm~3,000slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±2~2.5%
Digital Mass Flow Controller<br /><br />유량범위: 400slm~2,500slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±2%
Digital Mass Flow Controller<br /><br />유량범위: 5sccm~400slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%
Digital Mass Flow Controller<br /><br />유량범위: 5sccm~500slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%
Electronic Pressure Controller<br /><br />압력제어범위: 100mbar(g)~20bar(g)<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±1%<br />응답속도: 해당없음
Digital Mass Flow Meter<br /><br />유량범위: 5sccm~5,000slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±1~2%
Analog Mass Flow Meter<br /><br />유량범위: 5sccm~400slm<br />제어범위: 풀스케일 기준 2~100%<br />정확도: 풀스케일 기준 ≤±5%
Capacitance Diaphragm Gauge<br /><br />압력범위: 1~100Torr<br />정확도: 0.5%(R.S)<br />최대허용압력: 45 psia(310kpa)<br />출력신호: 0~10V<br />전원: ±15VDC / 30mA
Readout Box<br /><br />사용방식이 편리한 리드아웃박스<br />채널 별 전원 분리를 통한 정밀한 아날로그 입출력 신호<br />16Bit 고해상도 A/D, D/A 컨버터 탑재로 높은 정밀도<br />제어범위: 2채널, 4채널 선택 가능
